د ICP ایچنګ لپاره SiC پلیټ

د ځانګړتیاوو اړتیاوې: د پلازما چاپیریالونو غوښتنې لپاره غوره شوی

د ICP ایچنګ چاپیریال سختو غوښتنو پوره کولو لپاره، د SiC پلیټ باید لاندې اصلي ځانګړتیاوې ولري:

● غوره حرارتي چالکتیا

SiC خورا لوړ حرارتي چالکتیا لري، چې د دودیزو موادو لکه کوارټز یا ایلومینا څخه ډیره لوړه ده. دا پدې مانا ده چې دا کولی شي د ایچینګ پروسې په جریان کې تولید شوي تودوخه په مؤثره توګه د ویفر څخه لرې ترسره کړي، په مؤثره توګه د ځایی ډیر تودوخې مخه ونیسي.

ګټې: د ویفر په سطحه کې یو شان تودوخه ډاډمن کړئ، چې په پایله کې یې د ایچ ژوروالی او مهم ابعاد (CD) کنټرول خورا منظم وي، د پام وړ حاصلات ښه کړي او د ویفر سکریپ کم کړي.

● د پلازما د شاک مقاومت غوره والی

د ICP ایچنګ په پلازما چاپیریال کې، مواد به د لوړ انرژۍ ایون بمبارۍ او د فعال آزاد رادیکالونو کیمیاوي زنګ سره مخ شي. SiC د پلازما غوره مقاومت لري، په ځانګړې توګه د فلورین یا کلورین لرونکي ایچنګ ګازونو کې.

ګټې: د ویفر کیریر د خدمت ژوند خورا پراخوي، د ځای په ځای کولو فریکونسۍ او د بندیدو وخت کموي، په دې توګه د عملیاتي لګښتونو کمول او د تجهیزاتو کارول ښه کوي. په ورته وخت کې، د موادو باثباته ملکیتونه د ذراتو ککړتیا خطر هم کموي.

● د تودوخې غوره يوشانوالی

د لوړ حرارتي چالکتیا او د تودوخې د پراختیا ټیټ کوفیفینټ سره یوځای، د SiC کیریرونه د ویفر په ټوله سطحه کې د تودوخې غوره یووالي ساتلو توان لري. دا د دقیق ایچینګ لپاره خورا مهم دی، په ځانګړي توګه د حساسو موادو لکه GaN لپاره.

ګټې: د هرې وسیلې لپاره دوامداره ایچینګ ډاډمن کړئ، د وسیلې د فعالیت توپیرونه کم کړئ، او ستاسو د LED محصولاتو لپاره غوره کیفیت او اعتبار چمتو کړئ.

دا د فعالیت ځانګړتیاوې د LED ویفر جوړولو کې د تکرار وړ او دقیق ایچینګ ترلاسه کولو لپاره اړین دي.

ولې سیمیکسلاب غوره کړئ: مناسب حلونه. باوري کیفیت

د سیمیکسلاب غوره کول پدې معنی دي چې تاسو فعالیت، اعتبار او دودیز خدمات غوره کوئ:

۱. مختلف مشخصات شتون لري، او دودیز خدمتونه چمتو کیږي:

موږ ښه پوهیږو چې د ICP ایچنګ مختلف تجهیزات او پروسې د ویفر کیریر اندازې، سوري موقعیت، او کلیمپ کولو میتود لپاره ځانګړي اړتیاوې لري. سیمیکسلاب د بازار د اصلي اړتیاو پوره کولو لپاره د SiC ویفر کیریرونو مختلف معیاري مشخصات چمتو کوي.

تر ټولو مهمه دا چې موږ مسلکي اصلاحي خدمات وړاندې کوو. که تاسو ځانګړو اندازو، پیچلي ساختماني ډیزاینونو، یا د ځانګړو پروسو لپاره اصلاح ته اړتیا لرئ، زموږ د انجینرۍ ټیم کولی شي ستاسو سره نږدې کار وکړي ترڅو د مناسب حلونو چمتو کولو لپاره. دا پدې مانا ده چې تاسو کولی شئ یو کیریر ترلاسه کړئ چې ستاسو د تجهیزاتو او پروسې سره په بشپړ ډول سمون ولري، د تولید موثریت او حاصل اعظمي کړي.

2. باثباته کیفیت او چټک تحویلي

زموږ د کیفیت د کنټرول سخت سیسټم په ټولو بستونو کې ثبات تضمینوي، پداسې حال کې چې زموږ اغیزمن تولید او لوژستیک د ګړندي تحویلي وختونو تضمین کوي، چې تاسو سره د تولید سخت مهالویش پوره کولو کې مرسته کوي.

په سیمیکسلاب باور وکړئ - ستاسو د پرمختللي پلازما ایچنګ کې د SiC موادو ملګری

د سیمیکمډکټر کوټینګ صنعت ته د خدمت کولو د کلونو تجربې سره، سیمیکسلاب د ژورو موادو تخصص، عصري پروسس کول، او د پیرودونکي متمرکز خدمت سره یوځای کوي ترڅو هغه اجزا وړاندې کړي چې د پروسې ثبات او د محصول کیفیت لوړوي.

غوښتنلیک: د LED صنعت کې د ICP ایچینګ لپاره انجینر شوی

د LED د تولید په پرمختللې پروسه کې، ICP (Inductively Coupled Plasma) ایچنګ د سیمیکمډکټر ویفرونو کې د دقیق مایکرو نمونې ترلاسه کولو لپاره یو مهم ګام دی. د سیمیکسلاب SiC پلیټ د ICP ایچنګ پروسې په جریان کې د خورا باوري ویفر کیریر یا هولډر په توګه کار کوي. د دې قوي مادي ملکیتونه حتی د پلازما سختو شرایطو لاندې د پروسې ثبات تضمینوي، دا د لوړ حاصل، لوړ یونیفورمیت LED تولید لینونو لپاره یو اړین جز جوړوي.