د CVD SiC کوټینګ بفل

په پرمختللي سیمیکمډکټر تولید کې، د ایپیټیکسیل ریکټرونو دننه د پروسې ثبات په مستقیم ډول د وسیلې فعالیت، حاصلات، او اوږدمهاله اعتبار ټاکي. د سیمیکسلاب د CVD SiC کوټینګ بافل د لوړ فعالیت چیمبر برخه ده چې د هیټروپیټیکسیل ودې چاپیریالونو لپاره انجینر شوې، پشمول د سیلیکون (Si)، سیلیکون کاربایډ (SiC)، او مرکب سیمیکمډکټر پروسې. د لوړ پاکوالي کیمیاوي بخار زیرمو (CVD) سیلیکون کاربایډ کوټینګ ټیکنالوژۍ سره د دقیق ساختماني ډیزاین ترکیب کول، دا محصول د راتلونکي نسل ایپیټیکسیل پلیټ فارمونو لپاره استثنایی ګاز جریان تنظیم، د ذراتو کنټرول، او د تودوخې ساحې ثبات وړاندې کوي.

د اپیتیکسیل ریکټورونو دننه، په ځانګړې توګه په MOCVD یا CVD ریکټورونو کې چې د 1000 درجو سانتي ګراد څخه پورته فعالیت کوي او د SiC ایپیتیکسي سیسټمونو کې چې د 1600 درجو سانتي ګراد څخه ډیر وي، داخلي ګاز متحرکات او د تودوخې یووالي په جدي توګه د طبقې ضخامت کنټرول، د ډوپانټ ویش ثبات، او د کرسټال نیمګړتیا کثافت اغیزمنوي. د CVD SiC پوښل شوي بافلونه د پروسې چیمبرونو کې د جریان مهم مدیریت او محافظتي اجزاو په توګه کار کوي. دوی د پروسې ګاز جریان بیا شکل ورکوي او ثبات کوي، د ویفر څنډو ته نږدې ټربولنس کموي، او د لوی قطر فرعي برخو کې د یونیفورم مخکیني ویش ته وده ورکوي.

د جریان تنظیم څخه هاخوا، د ذراتو تولید مخنیوی د لوړ حاصل لرونکي اپیتیکسیل تولید ترلاسه کولو لپاره بنسټیز دی. د دودیزو چیمبر موادو څخه فلیکینګ، مایکرو کریکونه، او ککړتیا فرعي مایکرون ذرات معرفي کوي چې د وسیلې فعالیت د پام وړ خرابوي. د سیمیکسلاب د CVD SiC پوښل شوي بافلونه د الټرا لوړ پاکوالي CVD SiC کاروي، استثنایی کثافت، سختۍ، او کیمیاوي غیر فعالتیا وړاندې کوي. دا پوښ یو قوي، غیر مسام لرونکی سطح جوړوي چې د زنګ وهونکي پروسې ګازونو (HCl، Cl₂، او سیلین مشتقاتو) لخوا د تخریب په وړاندې مقاومت لري پداسې حال کې چې د ساختماني تخریب پرته د تکرار حرارتي سایکل چلولو سره مقاومت کوي. دا د پام وړ د ذراتو تولید کموي او د تجهیزاتو ټول وخت زیاتوي.

د تودوخې مدیریت د اپیټیکسیل سیسټمونو دننه د CVD SiC کوټینګ بافلونو یو بل مهم فعالیت استازیتوب کوي. د CVD سیلیکون کاربایډ لوړ حرارتي چالکتیا او د تودوخې پراختیا ټیټ کوفیفینټ (CTE) د چیمبر دننه د تودوخې یونیفورم ویش اسانه کوي. د لوړې تودوخې ودې پروسو په جریان کې، بافلونه د تودوخې ثبات کونکو په توګه عمل کوي، د تودوخې ځایی تدریجي کموي چې په بل ډول کولی شي د ودې نرخونو یا ډوپانټ شاملولو کې بدلون راولي.

سیمیکسلاب د موادو په انتخاب، د CVD کوټینګ زیرمه کولو، د ماشین کولو دقت، او وروستي تفتیش کې د کیفیت کنټرول سخت معیارونه پلي کوي ترڅو د کوټینګ ضخامت، چپکولو، پاکوالي، او ابعادي ثبات ډاډمن کړي. سیمیکسلاب د سیمیکمډکټر ایپیټیکسیل پروسو لپاره پرمختللي تخنیکي ملاتړ او دودیز محصول حلونو چمتو کولو ته ژمن دی. موږ په صادقانه توګه په چین کې ستاسو د اوږدمهاله ملګري کیدو ته سترګې په لار یو.