د SiC ایپیټیکسي لپاره 8 انچه ګرافایټ ډیسک

د SiC ایپیټیکسي لپاره د 8 انچه ګرافایټ ډیسک د لوی قطر ویفرونو کې د سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسي ودې لپاره مستحکم او تکرار وړ ملاتړ چمتو کولو لپاره ډیزاین شوی. لکه څنګه چې سیلیکون کاربایډ ایپیټیکسي د 6 انچ څخه 8 انچه تولید ته لیږد پروسه کوي، د تودوخې ساحې یووالي او د ویفر ملاتړ جوړښتي ثبات په زیاتیدونکي توګه مهم کیږي. دا ګرافایټ ډیسک د ری ایکټر حرارتي مدیریت سیسټم یوه مهمه برخه ده، یو کنټرول شوی او یونیفورم حرارتي چاپیریال وړاندې کوي چې مستقیم د ایپیټیکسي پرت ضخامت یووالي، ډوپانټ ویش، او د پروسې عمومي تکرار وړتیا اغیزه کوي.

د لوړ پاکوالي ایزوسټاټیک ګرافایټ څخه جوړ شوی، دا مواد د هغې د استثنایی تودوخې چالکتیا، ایزوسټاټیک فزیکي ملکیتونو، او ټیټ ناپاکۍ مینځپانګې لپاره غوره شوی. ایزوسټاټیک جوړښت د ټول 8 انچ قطر رینج کې دوامداره کثافت او حرارتي غبرګون تضمینوي، د دوامداره لوړ تودوخې عملیاتو په جریان کې د شعاعي تودوخې تدریجي او میخانیکي خرابوالی کموي. په عادي SiC CVD او MOCVD پروسو کې، چیرې چې د ودې تودوخه ډیری وختونه د 1600 درجو سانتي ګراد څخه ډیر وي او ګړندی حرارتي سایکل چلول عام وي، د ګرافایټ ډیسک فلیټنس او ​​ابعادي ثبات ساتي. دا د اپیټیکسیل دورې په اوږدو کې د باور وړ ویفر موقعیت او یونیفورم تودوخې لیږد فعالوي.

د پروسې له نظره، د 8 انچه ګرافایټ ډیسک د ویفر-سبسټریټ انٹرفیس کې د تودوخې سرحد شرایطو په تعریف کې پریکړه کونکی رول لوبوي. د وړاندوینې وړ او یونیفورم تودوخې جریان چمتو کولو سره، دا د څنډې رول آف اغیزو په مخنیوي کې مرسته کوي، د فشار له امله رامینځته شوي نیمګړتیاوې کموي، او د ټولې ویفر سطحې په اوږدو کې د ایپیټیکسیل پرت ضخامت باندې سخت کنټرول فعالوي. د ګرافایټ سبسټریټ لوړ پاکوالی د فلزي ککړتیا او د شالید ناپاکۍ شاملولو خطرونه نور هم کموي، کوم چې د بریښنا وسیلې درجې SiC ایپیټیکسي لپاره خورا مهم دی چې ټیټ عیب کثافت او لوړ بریښنایی ثبات ته اړتیا لري.

د چین د مخکښ تولیدونکي او د اپیتیکسیل اجزاو عرضه کوونکي په توګه، د سیمیکسلاب ۸ انچه ګرافایټ ډیسک د SiC ایپیتیکسیل تولید چاپیریال لپاره په ځانګړي ډول انجینر شوی دی. د لوړ پاکوالي ایزوسټاټیک ګرافایټ د دقیق ماشین کولو او سخت کیفیت کنټرول سره یوځای کولو سره، دا محصول د لوړ حجم ۸ انچه SiC ایپیتیکسي لپاره اړین ثبات، پاکوالی او تکرار وړتیا وړاندې کوي. دا د حاصلاتو کچه لوړوي، د تجهیزاتو اپټایم اعظمي کوي، او د مالکیت ټول لګښت کموي. په ورته وخت کې، سیمیکسلاب د مخکښ تخنیکي مشورتي خدماتو او دودیز محصول حلونو چمتو کولو ته ژمن پاتې کیږي. موږ په صادقانه توګه په چین کې ستاسو د اوږدمهاله ملګري کیدو ته سترګې په لار یو.