د سي سي پوښل شوی سیارې سوسیپټر

د سیمیکسلاب د SiC کوټ شوی پلانیټري سسپټر د راتلونکي نسل سیمیکمډکټر ایپیټیکسي او CVD حرارتي پروسس لپاره انجینر شوی ، چیرې چې د تودوخې یووالي ، له عیب څخه پاک وده ، او د اوږدې مودې چیمبر ثبات د وسیلې حاصلاتو لپاره خورا مهم دي. دا کیریر په ځانګړي ډول د لوړ تودوخې چاپیریال لپاره ډیزاین شوی چې د 1500 ° C څخه ډیر وي او د ګاز پیچلي کیمیا چې معمولا په سیلیکون ، SiC ، او GaN ایپیټیکسیال سیسټمونو کې موندل کیږي. د ملکیت SiC کوټینګ یو کثافت ، لوړ پاکوالي محافظتي پرت چمتو کوي چې د ککړتیا مخه نیسي او د تقاضا تولید فابریکو کې باثباته ، اوږد دور عملیات ډاډمن کوي.

په سیمیکمډکټر ایپیټیکسیل پروسو لکه Si، SiC، او GaN وده کې، د سیارې ویفر کیریرونه د عکس العمل زون ته د ویفرونو لیږدولو لپاره د اصلي میخانیکي او تودوخې پلیټ فارم په توګه کار کوي. د دوی مطلوب حرارتي چالکتیا د تودوخې دقیق ویش ته اجازه ورکوي، پداسې حال کې چې د سیارې گردش سیسټم د ودې نرخونو، ډوپانټ شاملولو، او کرسټال کیفیت کې په ډیری ویفرونو کې یووالي تضمینوي. د SiC بریښنا وسیلو تولید کې، حتی ±1-2٪ سبسټریټ د تودوخې بدلونونه د بیسال الوتکې بې ځایه کیدو کثافت او د وسیلې فعالیت اغیزه کوي. د SiC پوښل شوي سیارې ویفر کیریرونو لخوا چمتو شوی لوړ شوی حرارتي یووالي د فابریکو سره د عیب کثافت کمولو، ضخامت یووالي ښه کولو، او د بیچ څخه بیچ حاصل زیاتولو کې مرسته کوي.

د اپیتیکسیل پروسو هاخوا، دا سسپټر د کیمیاوي بخار جمع کولو خپریدو او تودوخې انیل کولو پروسو کې هم مهم دی، د تودوخې سرچینې او ویفر سطحې ترمنځ د مستحکم تودوخې انٹرفیس په توګه کار کوي. د دې پاتې شونو څخه پاک، د ټیټ ذراتو سطحې ځانګړتیاوې د اوږدې تودوخې سایکلینګ په جریان کې د ککړتیا خطرونه کموي، ویفرونه د کندې کولو، ذراتو جوړښت، یا د شا ککړتیا څخه ساتي. د دودیز ګرافایټ پر بنسټ د ملاتړ اسمبلۍ په پرتله، د سیمیکسلاب د SiC کوټینګ ډیزاین د پام وړ د خدماتو ژوند اوږدوي، د پاکولو او بیارغونې لپاره د بند وخت کموي، او د لوړ حجم تولید لینونو لپاره ټیټ لګښتونه وړاندې کوي.

هر سیمیکسلاب SiC کوټ شوی سیارې سوسیپټر د لوړ پاکوالي ګرافایټ سبسټریټونو او پرمختللي CVD SiC کوټینګ ډیپوزیسون ټیکنالوژۍ په کارولو سره جوړ شوی ترڅو د کوټینګ چپکولو ځواک، ضخامت یونیفورم، او د تودوخې شاک مقاومت ډاډمن کړي. دا محصول د دودیز کولو وړ ابعاد او ترتیبونه وړاندې کوي ترڅو د سیمیکمډکټر تجهیزاتو په تولید کې کارول شوي مخکښ اپیټیکسیل پلیټ فارمونو ځای په ځای کړي. د سیمیکسلاب تخنیکي خدمات د کوټینګ فعالیت ارزونه، د چیمبر مطابقت مشوره، او د ژوند دورې مدیریت شامل دي، چې د فابریکو سره د ظرفیت پراخولو، حاصلاتو ساتلو، او د تجهیزاتو تولید دورې لوړولو کې د مرستې لپاره ډیزاین شوي. موږ په صادقانه توګه ستاسو نورو پوښتنو ته سترګې په لار یو.