د TaC پوښل شوی پورس ګرافایټ پلیټ
د سیمیکمډکټر تولید داسې موادو ته اړتیا لري چې د سختو شرایطو سره مقاومت وکړي پداسې حال کې چې بې جوړجاړی پاکوالی او فعالیت ساتي. د سیمیکسلاب TaC پوښل شوی مسام ګرافایټ پلیټ په دقیق ډول د دې چاپیریال لپاره انجینر شوی. دا د لوړ پاکوالي مسام ګرافایټ ځانګړي ګټې د خورا دوامدار، محافظتي ټانټالم کاربایډ (TaC) پوښ سره یوځای کوي، چې د مرکب سیمیکمډکټر جوړولو کې د خورا تقاضا غوښتنلیکونو لپاره پرمختللي حل وړاندې کوي.
تفصیل
زموږ د TaC پوښل شوی سوري ګرافایټ پلیټ یو لوړ فعالیت لرونکی مرکب مواد دی چې د لوړ تودوخې، تعاملاتي اتموسفیر کې د دودیزو ګرافایټ اجزاو محدودیتونو لرې کولو لپاره ډیزاین شوی. اساس یو سوري ګرافایټ سبسټریټ دی، د ګرافایټ یو سپک وزن، خورا مستحکم بڼه د یو بل سره تړلي سوري شبکې سره. دا ځانګړی جوړښت د لوړې سطحې ساحه او غوره حرارتي ملکیتونه چمتو کوي.
د دقیق کیمیاوي بخاراتو د زیرمه کولو (CVD) پروسې په کارولو سره، د ټانټالم کاربایډ (TaC) یو ګڼ، پتلی طبقه په سطحه پلي کیږي. دا ریفراکټري سیرامیک کوټینګ د یو قوي محافظتي خنډ په توګه کار کوي، د سوري ګرافایټ مهر کوي او په ډراماتیک ډول د هغې میخانیکي، کیمیاوي او حرارتي فعالیت لوړوي.
مشخصاتو
| د TaC کوټینګ فزیکي ځانګړتیاوې | |
| تراکم | ۱۴.۳ (ګرام/سانتي متره) |
| ځانګړی اخراج | 0.3 |
| د تودوخې توسع کوونکی | 6.3*10-6/K |
| سختوالی (HK) | 2000 HK |
| مقاومت | 1 × 10-5 اوم*سانتي متره |
| حرارتي ثبات | <2500 ℃ |
| د ګرافایټ اندازه کې بدلونونه | -۱۰~-۲۰ نمرې |
| د پوښ ضخامت | ≥20um عادي ارزښت (35um±10um) |
غوښتنلیکونه
په پرمختللي سیمیکمډکټر تولید کې غوښتنلیکونه
د سوري ګرافایټ او د TaC کوټینګ همغږي دا مواد په څو مهمو سیمیکمډکټر پروسو کې یو لازمي جز ګرځوي، په ځانګړي توګه هغه چې لوړ تودوخې او زنګ وهونکي ګازونه پکې شامل دي. د دې لومړني غوښتنلیکونه پدې کې شامل دي:
● د سیلیکون کاربایډ (SiC) کرسټال وده: د TaC پوښل شوي پلیټونه د فزیکي بخار ټرانسپورټ (PVT) کرسټال ودې فرنسونو لپاره اړین دي. دوی د کروسیبلونو، موصلیت بورډونو، جریان لارښودونو، او تخم ساتونکو په توګه کارول کیږي. دا پوښ د SiC کرسټال د کاربن ککړتیا مخه نیسي، چې د لوړ کیفیت، عیب څخه پاک کرسټالونو ته د ښه حاصلاتو نرخونو سره لار هواروي.
● د فلزي-عضوي کیمیاوي بخار زیرمه (MOCVD): د GaN او GaAs په څیر پرمختللي وسایلو د تولید لپاره د MOCVD ریکټورونو کې، زموږ پلیټونه د سسپټرونو او ویفر کیریرونو په توګه کار کوي. د TaC کوټینګ د هایدروجن (H2) او امونیا (NH3) په څیر د خورا فعال ګازونو په وړاندې استثنایی مقاومت چمتو کوي، د اجزاو عمر اوږدوي او د پروسې پاکوالی ساتي.
● د لوړې تودوخې انیلینګ او ایپیټیکسي: د موادو حرارتي ثبات او کیمیاوي غیر فعالتیا دا د فرنس اجزاو لپاره مثالی کوي چې د لوړ تودوخې انیل کولو او ایپیټیکسیل ودې پروسو کې کارول کیږي، یونیفورم تودوخه تضمینوي او د ککړتیا مخه نیسي.
سیالۍ ګټور
کلیدي فزیکي ځانګړتیاوې او ګټې
د TaC پوښل شوي سوري ګرافایټ پلیټ د غوره ملکیتونو سیټ لخوا تعریف شوی چې ستاسو د تولید لاین لپاره مستقیم د پام وړ عملیاتي ګټو ته ژباړل کیږي.
۱. خورا حرارتي او میخانیکي ثبات
ملکیت: تر ۲۲۰۰ درجو سانتي ګراد پورې ساختماني بشپړتیا ساتي (په غیر اکسیډیز کولو فضا کې).
ګټې: دا استثنایی حرارتي ثبات د موادو د تخریب یا شکل د خرابوالي پرته د خورا لوړ تودوخې پروسو کې د ګړندي دورې وختونو او کارولو ته اجازه ورکوي. د TaC کوټینګ د مسام لرونکي ګرافایټ میخانیکي ځواک او د سوځیدنې مقاومت هم د پام وړ زیاتوي، چې دا ډیر دوامدار او د چپ کولو او اغوستلو په وړاندې مقاومت لري.
۲. غوره کیمیاوي بې ثباتي او پاکوالی
ملکیت: د TaC کوټینګ د H2، HCl، او NH3 په ګډون د پراخو زنګ وهونکو ګازونو په وړاندې خورا مقاومت لري. دا مواد د ناپاکۍ خورا ټیټه کچه لري، معمولا د 5ppm څخه کم.
ګټې: دا د ګازو ضد خنډ چمتو کوي چې د ګرافایټ سبسټریټ څخه د ناپاکۍ د وتلو مخه نیسي. دا په پراخه کچه ککړتیا او د ذراتو توییدل کموي، کوم چې د نیمه سیمیکمډکټر جوړولو کې د نیمګړتیاوو او ټیټ حاصلاتو لوی لاملونه دي.
3. مطلوب حرارتي مدیریت
ملکیت: دا مواد لوړ حرارتي چالکتیا لري (د سوري ګرافایټ لپاره 120−160W/m⋅K) او د خپریدو ځانګړی حد یې تقریبا 0.3 دی.
ګټې: د دې ځانګړتیاوو ترکیب د پلیټ په سطحه کې د تودوخې غوره او یوشان ویش تضمینوي. دا د کرسټال ودې او ایپیټیکسي په څیر پروسو لپاره خورا مهم دی، چیرې چې د تودوخې تدریجي باید د لوړ کیفیت، یونیفورم فلمونو او کرسټالونو ترلاسه کولو لپاره کم شي.
د سیمیکمډکټر غوښتنلیکونو لپاره د پرمختللي سیرامیک کوټینګونو او ګرافایټ حلونو کې د لسیزو تخصص سره، سیمیکسلاب د اعظمي فعالیت، دقت او پایښت لپاره انجینر شوي محصولات وړاندې کوي. زموږ د TaC پوښل شوي مسام ګرافایټ پلیټ د سیمیکمډکټر جوړونکو لپاره غوره انتخاب دی چې د باور وړ، لوړ پاکوالي، او اوږدمهاله حلونو په لټه کې دي. موږ ستاسو د نورو پوښتنو هرکلی کوو.
زموږ خدمتونه

د سیمیکسلاب محصولاتو پلورنځی


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




