محصولات - Sanxin

د سیمیکمډکټر کوارټز فلو بفل

د سیمیکسلاب سیمیکمډکټر کوارټز فلو بافل یو دقیق انجینر شوی جز دی چې د CVD، LPCVD، PECVD، خپریدو، او اکسیډیشن فرنسونو دننه د ګاز جریان تنظیم او همغږي کولو لپاره ډیزاین شوی. د الټرا لوړ پاکوالي فیوز شوي کوارټز (SiO₂، ≥99.99٪) څخه جوړ شوی، دا د ویفر پروسس کولو پرمهال د تودوخې او ګازو مستحکم ویش ډاډمن کوي، په مؤثره توګه د فلم غیر یونیفورمیت، د ذراتو ککړتیا، او محلي ډیر زیرمه کموي. د دې لوړ نظری شفافیت، استثنایی حرارتي مقاومت، او د ککړتیا څخه پاک طبیعت دا په پرمختللي سیمیکمډکټر او SiC/GaN ایپیټیکسي تجهیزاتو کې یو لازمي جز ګرځوي.

پوښتنه

تفصیل

Ⅰ. د موادو او سطحې ځانګړتیاوې

● مواد: لوړ پاکوالی فیوز شوی سیلیکا (مصنوعي یا طبیعي کوارټز، پاکوالی ≥99.99٪).

● حرارتي مقاومت: تر ۱۲۰۰ درجو سانتي ګراد پورې په دوامداره تودوخې کې ثابت فعالیت.

● د سطحې پای: د ذراتو د چپکولو مخنیوي لپاره خورا نرم، دقیق پالش شوي سطحې.

● حرارتي انبساط: د انبساط ټیټ ضریب (5.5×10⁻⁷/°C) ابعادي ثبات تضمینوي.

● کیمیاوي مقاومت: د زنګ وهونکو ګازونو لکه HCl، NH₃، او SiH₄ په وړاندې غیر فعال.

هر فلو بافل د سطحې کیفیت، ابعادي دقت، او داخلي بلبل کنټرول لپاره سخت تفتیش ترسره کوي، چې په هر تولیدي ډله کې دوامداره پاکوالي او اعتبار ډاډمن کوي.

Ⅱ. په سیمیکمډکټر پروسو کې کلیدي دندې

د کوارټز فلو بافل د لوړ تودوخې سیمیکمډکټر پروسس چیمبرونو دننه د اصلي جریان کنټرول او تودوخې تنظیم کولو برخې په توګه کار کوي. د دې فعالیت یوازې د ګازونو لارښوونې څخه ډیر دی - دا د پروسې چاپیریال ثبات کولو، د موادو کارولو ته وده ورکولو، او د ویفر څخه ویفر یووالي ډاډمن کولو کې څو اړخیز رول لوبوي.

۱. د ګازو د جریان یوشان ویش

د LPCVD، PECVD، او epitaxy په څیر پروسو کې، د ګاز یونیفورم تحویل د دوامداره پتلي فلم ودې او ډوپانټ ویش ترلاسه کولو لپاره خورا مهم دی. د کوارټز فلو بافل په احتیاط سره انجینر شوی جیومیټري - پشمول د هغې زاویه شوي جریان چینلونه، انحراف کونکی منحنی، او غوره شوی واټن - ډاډ ورکوي چې عکس العمل لرونکي ګازونه په مساوي ډول د ویفر سطحې په اوږدو کې خپاره شوي. د لامینار جریان نمونې ساتلو سره، د جریان بافل ډاډ ورکوي چې د بیچ دننه هر ویفر د ګاز ورته افشا کیدو شرایط تجربه کوي، په دې توګه د حاصل ثبات او د وسیلې ثبات لوړوي.

۲. د تودوخې ساحې ثبات او د تودوخې لیږد توازن

د لوړې تودوخې پروسو لکه د تودوخې اکسیډیشن یا د Si ایپیټیکسیل ودې په جریان کې، حتی د تودوخې ویش کې کوچني بدلونونه کولی شي د کرسټال نیمګړتیاوې، بې ځایه کیدل، یا د فلم فشار رامینځته کړي.

د کوارټز جریان خنډ د تودوخې تنظیم کونکي په توګه کار کوي:

● د ویفر کښتۍ د مرکز او څنډې ترمنځ د تودوخې درجې نرموي.

● د بخارۍ دننه د تودوخې د عدم توازن کمول

● د تودوخې د لوړوالي او ښکته کېدو په دوران کې د تودوخې شاکونه کموي.

۳. د ککړتیا مخنیوی او د پروسې پاکوالی

په سیمیکمډکټر تولید کې، د ککړتیا کنټرول خورا مهم دی. د فلزي یا ذراتو ککړتیا کولی شي د وسیلې حاصلات په جدي ډول کم کړي. د کوارټز فلو بافل، چې د خورا لوړ پاکوالي مصنوعي فیوز شوي سیلیکا (SiO₂ ≥ 99.99٪) څخه جوړ شوی، د پروسې چیمبر ته هیڅ فلزي ایونونه یا د کاربن پاتې شوني نه معرفي کوي. د هغې نرمه، غیر سوري سطحه د عکس العمل فرعي محصولاتو راټولیدو او د ذراتو شیډینګ مخه نیسي. دا د ګیټ آکسایډ جوړښت، خپریدو ډوپینګ، او CVD ډایالټریک زیرمو په څیر مهمو پروسو لپاره د پاکې خونې درجې ثبات تضمینوي.

د سیمیکسلاب کوارټز فلو بافل یوازې یو غیر فعال جز نه دی - دا د پروسې ثبات، ګاز یونیفورم، او د حاصلاتو اصلاح کولو لپاره یو مهم فعالونکی دی. د خپل پرمختللي جریان متحرک ډیزاین، حرارتي توازن، او الټرا پاک موادو جوړښت له لارې، دا ډاډ ورکوي چې هر ویفر د راتلونکي نسل سیمیکمډکټر وسیلې جوړولو لپاره اړین دقیق کنټرول شوي پروسې چاپیریال ترلاسه کوي.