د سیلیکون کاربایډ ډیفیوژن فرنس ټیوب

په نیمه

د سیلیکون کاربایډ ډیفیوژن فرنس ټیوب څه شی دی؟

د سیلیکون کاربایډ ډیفیوژن فرنس ټیوب د لوړ تودوخې پروسس ټیوب دی چې د سیلیکون کاربایډ سیرامیکونو څخه جوړ شوی او د سیمیکمډکټر ډیفیوژن فرنس سیسټمونو دننه کارول کیږي. دا د ویفر پروسس کولو لپاره کنټرول شوی چاپیریال رامینځته کوي، چې د مختلفو پروسس اتموسفیرونو لاندې دقیق تودوخې درملنې ته اجازه ورکوي، پشمول د اکسیجن، نایتروجن، هایدروجن، بخار، او ډوپانټ لرونکي ګازونه.

د دودیزو کوارټز فرنس ټیوبونو په پرتله، د SiC فرنس ټیوبونه د سختو تودوخې شرایطو لاندې د دوی د لاندې له امله ښه فعالیت وړاندې کوي:

● لوړ حرارتي چالکتیا

● د تودوخې غوره ثبات

● غوره میخانیکي ځواک

● د اکسیډیشن غوره مقاومت

● د تودوخې د پراختیا ټیټ ضریب

● د کیمیاوي زنګ وهلو په وړاندې لوړ مقاومت

دا ځانګړتیاوې سیلیکون کاربایډ د سیمیکمډکټر تودوخې پروسس کولو تجهیزاتو لپاره یو مثالی مواد ګرځوي چیرې چې اوږدمهاله اعتبار او د پروسې دوام اړین دی.

د سیلیکون کاربایډ ډیفیوژن فرنس ټیوبونه په پراخه کچه د سیمیکمډکټر جوړولو پروسو کې کارول کیږي، په شمول د:

● د تودوخې اکسیډیشن

● د ډوپانټ خپریدل

● د لوړې تودوخې انیلینګ

● نایټریډیشن

● د بریښنا نیمه کرهنیز تولید

● د SiC او GaN وسیلو پروسس کول

د دوی د تودوخې او کیمیاوي شرایطو د باثباته ساتلو وړتیا دوی د پرمختللي سیمیکمډکټر تودوخې پروسس کولو تجهیزاتو کې یو لازمي جز ګرځوي.