د LPE PE2061S لپاره د SiC پوښل شوی ملاتړ
د LPE PE2061S لپاره د SiC پوښل شوی ملاتړ یو دقیق انجینر شوی ساختماني برخه ده چې د لوړ تودوخې مایع فیز ایپیټیکسي (LPE) سیسټمونو لپاره ډیزاین شوې. د لوړ کثافت ګرافایټ او د کثافت سیلیکون کاربایډ (SiC) پوښ سره جوړ شوی، دا د III-V او مرکب سیمیکمډکټر ودې پروسو په جریان کې میخانیکي ثبات، کیمیاوي غیر فعالتیا، او د تودوخې ساحې یووالي تضمینوي. په ځانګړي ډول د PE2061S تجهیزاتو لپاره غوره شوی، دا برخه د ککړتیا کنټرول لوړوي، د خدماتو ژوند اوږدوي، او د LPE تولید چاپیریال کې د دوامداره ایپیټیکسیل پرت کیفیت ملاتړ کوي. ستاسو د پوښتنې په تمه.
تفصیل
د LPE PE2061S لپاره د SiC پوښل شوی ملاتړ د لوړ تودوخې مهم جوړښتي برخه ده چې په ځانګړي ډول د LPE PE2061S مایع مرحلې ایپیټیکسي سیسټم لپاره ډیزاین شوې. په پرمختللي سیمیکمډکټر LPE ودې پروسو کې، میخانیکي ثبات، کیمیاوي پاکوالی، او حرارتي یووالي په مستقیم ډول د ایپیټیکسیال طبقې کیفیت ټاکي. دا SiC پوښل شوی ملاتړ اوږدمهاله ساختماني بشپړتیا تضمینوي، د ککړتیا خطرونه کموي، او د لوړ تودوخې د ودې د تکرار دورې په جریان کې د تودوخې ساحې ثبات ساتي.
د مایع پړاو ایپیټیکسي (LPE) د تودوخې تدریجي، د ویلې کیدو ثبات، او د ناپاکۍ کنټرول لپاره خورا حساس دی. د PE2061S سیسټم دننه، د ملاتړ جوړښت د لوړ تودوخې بار وړونکي عنصر په توګه کار کوي، د ویفر مرحلې او د عکس العمل زون اجزاو دقیق موقعیت ساتي. د LPE ودې په جریان کې، حتی کوچنۍ ساختماني خرابوالی کولی شي د ویلې کیدو بې ثباتۍ یا د ضخامت غیر یونیفورمیت لامل شي. د سیمیکسلاب د SiC پوښل شوی ملاتړ جوړښت د لوړ کثافت ایزوسټاټیک ګرافایټ څخه د سبسټریټ په توګه کار اخلي، د کثافت، یونیفورم سیلیکون کاربایډ (SiC) کوټینګ سره یوځای شوی. دا ترتیب د 700 ° C څخه تر 1100 ° C پورې د تودوخې سایکلینګ شرایطو لاندې استثنایی ابعادي ثبات ښیې، د تکرار وړ ایپیټیکسیل فعالیت ډاډمن کوي.
د مایع پړاو ایپیټیکسي (LPE) پروسې لپاره یوه مهمه اړتیا د ککړتیا سخت کنټرول دی. د بخار پړاو ایپیټیکسي برعکس، د مایع پړاو وده د مایع موادو سره مستقیم تعامل لري. د ساختماني اجزاو څخه د ناپاکۍ هر ډول خوشې کیدل د کیریر غلظت، کرسټال عیب کثافت، او د سطحې توپوګرافي باندې د پام وړ اغیزه کوي. د SiC پوښښونه د ګرافایټ سبسټریټ موادو او مایع شوي چاپیریال ترمنځ د اغیزمن خپریدو خنډ پرت په توګه کار کوي. د دوی لوړ کیمیاوي بې ثباتي او د زنګ وهلو مقاومت د کاربن خپریدو او فلزي ککړتیا مخه نیسي، په دې توګه د لوړ پاکوالي ایپیټیکسيال ودې ملاتړ کوي او د ویفر حاصلاتو ثبات لوړوي.
د مایع مرحلې ایپیټیکسي (LPE) سیسټمونو کې د تودوخې مدیریت په مساوي ډول مهم دی. د SiC کوټینګ غوره حرارتي چالکتیا او غوره حرارتي شاک مقاومت ښیې، چې د غبرګون زون دننه د تودوخې په یونیفورم ویش کې مرسته کوي. د تودوخې د محلي بدلونونو کمولو سره، د ملاتړ جوړښت د ثابت حرارتي تدریجي ساتلو کې مرسته کوي - د یونیفورم ایپیټیکسیال پرت ضخامت او انٹرفیس کیفیت ترلاسه کولو لپاره یو مهم پیرامیټر. په PE2061S سیسټم کې، د پروسې تکرار وړتیا د تولید موثریت لپاره بنسټیز دی، د تودوخې ساحې ثبات په مستقیم ډول د بیچ څخه بیچ ثبات او د اوږدمهاله تجهیزاتو اعتبار اغیزه کوي.
د عملیاتي لید له پلوه، د SiC پوښل شوي ملاتړ جوړښتونه د اجزاو عمر د پام وړ اوږدوي او د ساتنې فریکونسي کموي. د SiC غلیظه طبقه د ګرافایټ سبسټریټ د ویلې شوي تخریب او لوړې تودوخې زنګ وهلو څخه ساتي، په دې توګه د خدماتو ژوند اوږدوي او د ملکیت ټول لګښت کموي. د دې قوي میخانیکي ځواک ډاډ ورکوي چې د تکراري تودوخې سایکلینګ په جریان کې هیڅ ډول وارپینګ، درزونه، یا ساختماني تخریب نه پیښیږي.
د چین د مخکښ تولیدونکي او د SiC پوښل شوي ملاتړ اجزاو عرضه کونکي په توګه، د LPE PE2061S لپاره هر سیمیکسلاب SiC پوښل شوی ملاتړ د سخت کیفیت کنټرول معیارونو لاندې تولید شوی ترڅو د کوټینګ یووالي، ضخامت ثبات، چپکولو، او ابعادي دقت تضمین کړي. دا اجزا د PE2061S تجهیزاتو جوړښت سره د بې سیمه مطابقت لپاره انجینر شوي، پرته له تعدیلاتو څخه د موجوده تولید لینونو کې مستقیم ادغام فعالوي. د دې د لوړ تودوخې ساختماني اعتبار، غوره ککړتیا کنټرول، او د تودوخې ساحې ښه ثبات سره، د LPE PE2061S لپاره د سیمیکسلاب د SiC پوښل شوي ملاتړ اجزا د پرمختللي LPE اپیتیکسیل ودې غوښتنلیکونو لپاره د باور وړ حل چمتو کوي. دا د سیمیکمډکټر تولید کونکو لپاره د لازمي ساختماني عنصر په توګه کار کوي چې مستحکم اپیتیکسیل کیفیت، اوږد شوي اجزا ژوند، او مطلوب پروسې فعالیت ته اړتیا لري. موږ په صادقانه توګه په چین کې ستاسو د اوږدمهاله ملګري کیدو ته سترګې په لار یو.
مشخصاتو
| د CVD SiC کوټینګ اساسي فزیکي ځانګړتیاوې | |
| د ملکیت | ځانګړی ارزښت |
| کریسټال جوړښت | د FCC β مرحله پولی کریسټالین، په عمده توګه (111) متمرکز |
| تراکم | 3.21g/cm³ |
| کلکوالی | ۲۵۰۰ ویکرز سختوالی (۵۰۰ ګرامه بار) |
| د دانې اندازه | 2 ~ 10μm |
| کیمیاوي پاکي | ۸۵٪ |
| د حرارت ظرفیت | ۶۴۰ جور·کیلوګرامه-1· K-1 |
| د سبلیمیشن تودوخه | 2700 ° C |
| انعطافي ځواک | ۴۱۵ MPa RT ۴-پوائنټ |
| د ځوانانو ماډول | ۴۳۰ جي پي اې ۴ پونډه کږوالی، ۱۳۰۰ ℃ |
| د تودوخې چلښت | ۳۰۰ واټه · متر-1· K-1 |
| د تودوخې پراخوالی (CTE) | 4.5 × 10-6K-1 |
زموږ خدمتونه

د سیمیکسلاب محصولاتو پلورنځی


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




