د CVD TaC کوټینګ د چپکولو ځواک او د پوستکي د خلاصیدو خطرونو ازموینه

د ګرافایټ په ځانګړو پوښونو لپاره، د سي وي ډي ټي سي او د سي وي ډي سيک کوټینګ د لوړ حرارت لرونکي چپ جوړولو ماشینونو برخو کې، د برخې سره د پوښ د تړلو فعالیت د برخو په ژوند کې خورا مهم دی. ضعیف بانډ د تودوخې او یخولو پروسو کې د کوچنیو درزونو او پوستکي کیدو لامل کیږي، چې ککړونکي یا غیر مساوي محافظت او د پروسې ناکامي رامینځته کوي. ډیری برخې په فابریکه کې په پیل کې ښه ښکاري او د څو ځله کارولو وروسته یې څنډه خلاصیږي. له همدې امله، د بانډ ځواک باید په فابریکه کې کارول شوي برخو دمخه ازموینه شي ترڅو په ماشینونو کې د ناڅاپي ناکامۍ څخه مخنیوی وشي.

د ګرافایټ سبسټریټونو کې د CVD TaC کوټینګ لپاره معیاري چپکونکي ازموینې

د نسبي ځواک موندلو لپاره، په فابریکو کې څو کیفي ازموینې ترسره کیږي؛ لومړی د سکریچ ازموینه ده. دلته، د الماس نوک د زیاتیدونکي ځواک لاندې د پوښ په سر رسم کیږي، که چیرې فلم د ګرافایټ طبقې څخه د وخت څخه مخکې درز شي، ټوټې شي یا جلا شي نو دا ضعیف چپکونکی ښیې. دا یو ساده ازموینه ده مګر د پرزو خدماتو ته د ننوتلو دمخه روښانه پایلې ښیې.

بله چټکه ازموینه د ټیپ ازموینه ده چیرې چې چپکونکی ټیپ په فلم باندې تطبیق کیږي او بیا لرې کیږي؛ که چیرې فلیکس د ټیپ سره لرې شي نو د ګرافایټ اساس سره اړیکه ممکن ضعیف وي. دا یو چټک لومړنی ازموینه ده چې په لابراتوارونو کې د ډیر سخت ازموینې دمخه کارول کیږي.

د تودوخې او یخولو تکرار هم خورا مشهور دی، ځکه چې دا پروسه په بشپړ ډول د ریښتینې غوښتنلیک تقلید کوي. سخت پوښښ هیڅ ناوړه اغیزې نه ښیې، پداسې حال کې چې ضعیف پوښښونه په څنډه کې ټوټې ټوټې یا پوټکی پیل کوي. په یوه فابریکه کې، پوښښونه د بار بار تودوخې وروسته په دوهم چیک کې ناکام شول (په څنډو کې پوټکی کول) که څه هم دا د پلي کولو دمخه د سبسټریټ ککړتیا له امله و.

د پل آف ازموینه (چیرې چې یو سټډ د پوښ سره چپک شوی وي او بیا تر هغه وخته پورې کش کیږي تر څو چې سبسټریټ له هغې څخه لرې شي) بله ازموینه ده، کوم چې په دوامداره توګه ارزښت ورکوي، د بیچونو پرتله کولو لپاره ښه ده مګر کولی شي د ترسره کولو لپاره د پام وړ وخت ونیسي. د انډینټیشن ازموینه د لید او اندازه کولو وړ ازموینې په توګه کارول کیږي، چیرې چې یو سخت ټکی په پوښ ​​کې اچول کیږي او د درزونو د رامینځته کیدو کچه اندازه کیږي. که چیرې په سمه توګه یوځای ترسره شي، دا ازموینې د ښه پوښ ​​بشپړتیا ډاډمن کوي.

د ایپیټیکسي غوښتنلیکونو کې د ټا سي کوټینګ د پوستکي د خلاصیدو لومړني خبرداری نښې

په دې ډول ماشینونو کې ډېر کم داسې پېښې شته چې د پوښ له منځه وړل په ناڅاپي ډول ترسره شي. ډیری وخت په برخه کې لږ بدلون راځي، چې له پامه غورځول کیږي. د پوښ رنګ بدلون ډېر ژر څرګندیږي. یو نوی پوښ باید مساوي او نرم ښکاره شي مګر د فشار لاندې ځینې برخې په رنګ کې خړ ښکاري، په ځانګړې توګه د څنډو، کونجونو او د لوړې تودوخې سره سیمو کې.

ډیری وختونه د څنډې پورته کول هم ډیر کوچني وي چې په سرحدونو کې د پوښ د ولاړې طبقې په څیر ښکاري که چیرې په رڼا کې په مناسب زاویه او یا په لوړ لوړوالي سره وکتل شي. د فابریکې په یوه لیکه کې د پاکولو یو کارګر د برخې د څنډې تر څنګ د دوړو کوچني ذرات ولیدل، او وموندله چې د څنډې څخه دمخه فلیکینګ پیل شوی و.

د ویښتانو د کرښې درزونه هم ستونزه په ګوته کوي. لومړني درزونه نازک او سطحي دي او د تودوخې د فشار په زونونو کې څرګندیږي، په پای کې د لویو سیمو د توییدو سره نښلوي که چیرې درزونه ترمیم نشي. نور کوچني شاخصونه د خونې دننه د ذراتو یا دوړو زیاتوالی شامل دي.

که څه هم په کوټینګ کې هیڅ ښکاره نیمګړتیا نه لیدل کیږي، ذرات ممکن د عملیاتو په جریان کې له کوټینګ څخه ووځي او د ناورین ناکامۍ دمخه په مانیټرونو کې لیدل کیدی شي. ناهمواری کولی شي زیات شي، ځکه چې یو ځل نرم کوټینګ د کوټینګ د پورتنۍ طبقې د تخریب له امله دانه لرونکي بڼه رامینځته کوي.

ځکه چې په څنډه کې یوه کوچنۍ نیمګړتیا کولی شي په لویه ناکامۍ بدله شي چې کیفیت یې زیانمنوي او د ماشین بندیدو ته اړتیا لري، د دې لومړني شاخصونو پیژندل مهم دي.

د CVD TaC پوښل شوي ایپیټیکسیل برخو باندې د تودوخې سایکل چلولو اغیزې

ځکه چې پوښل شوي اجزا په مکرر ډول د ورځې په اوږدو کې ګرم او سړېږي، نو په وخت سره په پوښ ​​باندې ډیر قوي فشارونه رامینځته کیږي. کله چې اجزا ګرم شي، پوښ او ګرافایټ پراخیږي، مګر په مختلفو نرخونو کې. نو، د تودوخې هر دوره د دواړو موادو ترمنځ په انٹرفیس کې فشار رامینځته کوي. کله چې اجزا سړه شي، فشار بل لوري ته ځي. د تودوخې او یخولو یوه دوره به هیڅ زیان ونه رسوي، مګر د سلګونو داسې دورو په جریان کې کوچني داخلي فشار رامینځته کیږي.

پوښ به نسبتا نرم او باثباته وي، مګر د تودوخې د بدلونونو د تکرار وروسته به د فشار کوچنۍ ساحې په تیزو څنډو یا غیر مساوي تودوخې کې رامینځته شي. د برخې منځنۍ برخه به د اوږدې مودې لپاره پاتې شي، د برخې بهرنۍ برخه به په اصلي وسیلو کې زړیږي. د برخو په څنډه کې کوچنۍ درز یو عام مثال دی، د ډیری کارونې وروسته به دا په څنډه کې رامینځته شي او وده به پیل کړي ځکه چې فشار د تودوخې هر دور وروسته جلا کوي او کوچني فلیکس به پوټکي شي.

د بار بار تودوخې او یخولو سره د کوټینګ داخلي میټریکس له منځه ځي، نو له همدې امله لږ شمیر برخې به لومړنۍ ازموینه کې بریالي شي، مګر د اوږدې مودې کارونې وروسته (څو میاشتې) به لاهم د زیان سره مخ وي. په یوه قضیه کې، برخې د څو سوو دورو وروسته د ګړندي تودوخې له امله د ورو تودوخې په پرتله خورا لوی فشار رامینځته کولو سره خلاصیدل پیل کړي.

د سطحې د پری درملنې طریقې د کوټینګ بانډینګ ځواک ښه کولو لپاره

د ګرافایټ برخو باندې د هر ډول پوښ لګولو دمخه د پام وړ تیاری باید ترسره شي ترڅو طبقه سره وصل شي. په ښه پوښ ​​باندې ضعیف چمتووالی به په ساده ډول د هغه پوښ ​​لامل شي چې ډیر ژر ناکام شي. د ګرافایټ برخې ژوره پاکول د دې چمتووالي یو اړخ دی. ګرافایټ په اسانۍ سره د خپلو سوریو دننه خورا ښه دوړې، پاتې غوړي، یا د ماشین کولو ذرات بندوي. دا توکي په فزیکي توګه د پوښ د اساس سره مستقیم تماس څخه مخنیوی کوي.

حتی د تیلو یو مایکروسکوپي فلم به په بانډ کې ضعیف زونونه رامینځته کړي، کوم چې به د پیل کولو لپاره ځایونه شي. د پاکولو ځانګړي حلونه معمولا کارول کیږي یا ځینې وختونه برخه په فرنس کې پخه کیږي ترڅو هر ډول ژور ځای پر ځای شوي پاتې شوني له منځه یوسي.

بل دا دی چې ډاډ ترلاسه شي چې سطحه یو څه ناهمواره شوې ده ترڅو د پوښښ اغیزمن گرفت زیات شي که چیرې سطحه په بشپړ ډول نرمه وي. دا عموما د شګو بلاسټ کولو یا د ماشین وسیلو په کارولو سره ترلاسه کیږي ترڅو د پوښښ لپاره یو ناڅاپه مګر نسبتا مستحکم گرفت سطح ترلاسه کړي ترڅو په میخانیکي ډول "هک" شي، یا د پلازما درملنې کارولو سره چې په لنډمهاله توګه د ګرافایټ سطح د ګاز سره بمباري کوي ترڅو دا فعال کړي او په کیمیاوي ډول یې د کوټینګ موادو سره مطابقت ولري پداسې حال کې چې د سبسټریټ شکل باندې هیڅ منفي اغیزه نلري.

د ګرافایټ برخو د تودوخې درملنې د پوښ کولو دمخه کارول کیږي، ځکه چې د یوې برخې لوړ حرارت پخول کولی شي د موادو دننه بند پاتې ګازونه وباسي. دا ګازونه په بالقوه توګه د پوښ د زیرمه کولو پرمهال وتښتي، چې د پوښ لاندې د ضعیف ځای یا تڼاکې لپاره مناسب ځای رامینځته کوي. دا پروسې عموما یوځای کیږي.

د LPE (ASM) سیسټمونو کې کارول شوي د TaC پوښل شوي حلقو ناکامي تحلیل

پوښل شوي ګرافایټ حلقې د لوړې تودوخې، لوړ ګاز جریان، او تودوخې دورې په ګډون په سختو شرایطو کې کار کوي. د پوښل شوي ګرافایټ حلقو ناکامي میکانیزمونه ډیری وختونه د پوښ فشار، د سطحې کیفیت او تودوخې ستړیا سره تړاو لري.

د څنډو ډیلامینیشن چیرې چې پوښ د تیزو څنډو او پتلو برخو له څنډو څخه ډیلامینیټ کیږي ځکه چې دوی د بلک برخو په پرتله د ګړندي یخولو او تودوخې نرخونو سره مخ کیږي. په څنډه کې د لفټ پیل کولو وروسته، دا پدیده د څنډې په اوږدو کې د پرانیستې زپ په څیر وده کوي.

کوچني فلیکینګ په داخلي سطحه کې واقع کیدی شي چیرې چې د ګاز جریان ډیر شدید وي او په محلي توګه ګرم ځایونه رامینځته کوي. په یوه سیسټم کې د تورو دوړو یوه ډله وموندل شوه چې د حلقې داخلي دیوال کې د کوچنیو درزونو سره تړاو لري. د انٹرفیس بانډینګ ناکامي یو بل بنسټیز میکانیزم دی؛ د طبقې لاندې ضعیف چپکتیا د ناڅاپي، لویې ساحې د پوستکي له امله ده چې معمولا د سطحې څخه چې په سمه توګه پاکه شوې نه وي یا ګازونه چې په انٹرفیس کې بند پاتې وي چې پراخیږي.

له بلې خوا، د تودوخې چټک سایکل چلول د تودوخې شاک رامینځته کوي چې پکې د تودوخې فشارونه په چټکۍ سره د کوټینګ / بیس انٹرفیس کې رامینځته کیدی شي. د تولید په یوه پروسه کې یوه حلقه یوازې څو میاشتې دوام وکړ. که څه هم په پیل کې عادي ښکاري، د ذراتو کچه په دوامداره توګه لوړه شوه او د لرې کولو په وخت کې د کوټینګ یوه لویه برخه د ضمیمې نقطو په شاوخوا کې له مینځه تللې وه.

دا ناکامي د کوټینګ څخه مخکې د غیر یونیفورم تودوخې او د څنډې د ضعیف پاکولو له امله رامینځته شوې. پداسې حال کې چې ناکامي معمولا د وخت په تیریدو سره د کوچنیو نیمګړتیاوو څخه وده کوي، منظم تفتیش او د تودوخې مستحکم تودوخه ممکن د دې ډول ناکامیو په وړاندې ښه مخنیوي اقدامات وي.