د LPE ایپیټیکسي سیسټمونو کې کارول شوي حلقو کې د TaC کوټینګ پیل کولو حل کول

د LPE چپ جوړولو ډیری ماشینونه د TaC پوښل شوي حلقې کاروي. دا پوښ د ماشین دننه د یو باثباته او پاک چاپیریال ساتلو کې مرسته کوي. لکه څنګه چې پوښ اغوستل کیږي، د سي وي ډي سيک کوټینګ یا ټوټې ټوټې شي، کوچنۍ ټوټې کولی شي ماشین ته ننوځي، ویفرونه ککړوي او د بشپړ شوي محصول کیفیت ټیټوي.

د TaC پوښښ او سي وي ډي سيک زیان په سمدستي توګه نه پیښیږي مګر د تودوخې، یخولو او پاکولو په ګډون د ډیرو دورو په اوږدو کې رامینځته کیږي. په عادي ساتنه کې، کارګران ممکن ومومي چې د ځینو برخو سطحې نور نرمې نه دي، مایکرو درزونه شتون لري، یا ټوټې له څنډو څخه راوتلي دي. د دې خرابیدو تر شا د لاملونو پوهیدل کولی شي د ماشین پرزو ژوند د پام وړ اوږد کړي.

د CVD TaC پوښل شوي ګرافایټ حلقو کې د څنډې د درزیدو اصلي لاملونه

معمولا د څنډو درزونه د کوچنیو نیمګړتیاوو په توګه پیل کیږي چې د وخت په تیریدو سره رامینځته کیږي، بیا پوښ پوټکی پیل کوي.

د تودوخې فشار یو له لومړنیو دلیلونو څخه دی. د سي وي ډي ټي سي او ګرافایټ په مختلفو نرخونو کې پراخیږي او انقباض کوي کله چې دوی تودوخه او یخ شي، هرکله چې دوی تودوخه یا یخ شي د دواړو موادو ترمنځ فشار رامینځته کوي. د پوښ کمزورې برخې ډیری وختونه په څنډو کې وي، نو دا هغه ځای دی چې ډیری وختونه درزونه رامینځته کیږي.

چټک تودوخه او یخ کول د تودوخې فشار ستونزې زیاتوي. هغه ماشینونه چې د ناکافي یخولو وخت سره ډیری منډې ترسره کوي په پوښل شوي حلقو باندې خورا ډیر فشار راوړي، او کوچنۍ څنډې درزونه رامینځته کیږي او بیا د هر منډې وروسته لوی کیږي.

پاکول هم د کوټینګ د ژر خرابیدو لامل کیدی شي. د سختو کیمیاوي موادو یا پلازما پاکولو سره په کلکه پاکول به د TaC کوټینګ او ګرافایټ سبسټریټ ترمنځ تړل زیانمن کړي، په پای کې به څنډې کمزورې کړي او درزونه به رامینځته کړي.

د زیانونو یو عام دلیل کمزوری اداره کول دي. د حلقو د لیږد یا نصبولو په جریان کې یو کوچنی ټکان کولی شي په څنډو کې کوچني کمزوري ځایونه رامینځته کړي چې نه لیدل کیږي، کوم چې کولی شي د تودوخې / یخولو پرمهال په درزونو بدل شي.

د ګرافایټ سبسټریټ کیفیت هم د درزیدو لامل کیږي. په ګرافایټ کې کوچني سوري، یا غیر منظم کثافت به د کوټینګ د چپه کیدو په لاره اغیزه وکړي، او د فشار ټکي رامینځته کړي، کوم چې به د کوټینګ د چپه کیدو لامل شي.

په ډیری مواردو کې، د پورته ذکر شویو څخه د یو څخه ډیرو ترکیب به واقع شي.

د LPE (ASM) ایپیټیکسیل برخو کې د تودوخې پراخوالي بې مطابقت

د کوټینګ د ناکامۍ یو بل اصلي لامل د تودوخې پراخېدو بې اتفاقي ده. دا په حقیقت کې یو ډیر ساده مفهوم دی او هغه دا دی چې د TaC کوټینګ او ګرافایټ مختلف مقدارونه لري چې دوی د تودوخې بدلون سره پراخیږي او انقباض کوي.

لکه څنګه چې تودوخه لوړیږي، ګرافایټ د TaC پوښښ څخه ډیر پراخیږي. له همدې امله په موادو کې فشارونه رامینځته کیږي ځکه چې پوښښ به د دې اضافي اندازې سره سم اوږد نشي او بیا لکه څنګه چې تودوخه کمیږي ګرافایټ د پوښښ څخه ډیر انقباض کوي. دا بیا په موادو کې فشارونه رامینځته کوي.

د سلګونو حرارتي دورو وروسته او د لوړ پاکوالي CVD SiC خام مواد په دوو موادو کې جوړ شوي فشارونه هغه اړیکه ماتوي چې پوښ او سبسټریټ سره یوځای ساتي او پوښ په چپه کیدو، درزیدو یا ډیلامینیټ کیدو پیل کوي. تیز کونجونه او څنډې ترټولو لوی فشارونه لري او ژر تر ژره ناکام کیږي.

د مثال په توګه، د تولید ټیم پوښل شوي حلقې درلودې چې د خپل عادي عمر نیمایي کې یې درزونه کول؛ کله چې پروسه یې وڅیړله نو دوی پوه شول چې دوی حلقې په چټکۍ سره سړې کوي. د یخولو پروسې بدلولو سره د دوی عمر د پام وړ زیات شو.

د پوښ ضخامت او شکل هم په موادو کې د جوړ شوي فشارونو له مخې مهم رول لوبوي؛ ضخامت او د سطحې غیر یونیفورم ډیزاین د فشار زیاتوالي لامل کیږي.

د دې عواملو له امله د تودوخې او یخولو تکرار وړ دوره او د ښه کوټینګ کیفیت اړین دی ترڅو ډاډ ترلاسه شي چې اجزا ناکامیږي.

د کوټینګ ضخامت څنګه د TaC کوټینګ د پوستکي کولو خطرونو باندې اغیزه کوي

د TaC کوټینګ ضخامت د برخې ژوند په برخه کې لوی تاثیر لري. نري کوټینګونه د تودوخې او کیمیاوي موادو څخه د ګرافایټ د ساتنې لپاره کافي ندي. د وخت په تیریدو سره کندې او نیمګړتیاوې رامینځته کیږي تر هغه چې کوټینګ د سبسټریټ څخه لرې شي. ضخامت کوټینګونه د ذخیره شوي فشار لوړه اندازه لري.

د تودوخې او یخولو تکراري دورې به د سبسټریټ څخه د پوښ د لرې کولو تمایل ولري، معمولا کونجونو او څنډو ته نږدې. په هرصورت، د ضخامت توپیر د اوسط ضخامت په څیر مهم دی.

یو مساوي پوښښ چې د تمې څخه یو څه لوړ ضخامت ولري د هغه نا مساوي پوښښ په پرتله خورا غوره دی چې د هدف اوسط ضخامت ته نږدې وي، ځکه چې فشارونه په مساوي ډول نه ویشل کیږي.

عموما غوره پوښ ​​به ښه نښلول شوی وي او د لږ توپیر سره به اوسط ضخامت ولري.

د زیانمن شوي CVD TaC پوښل شوي ایپیټیکسي اجزاو لپاره د ترمیم ستراتیژۍ

زیانمن شوي برخې تل سمدلاسه بدلولو ته اړتیا نلري. د زیان کچې پورې اړه لري، د ګرافایټ یا پوښ بدلول ممکن اړین نه وي.

که چیرې ګرافایټ سخت زیانمن شوی نه وي نو بیا ممکن د برخې څخه زوړ پوښ لرې شي، یو نوی TaC پوښ اچول کیدی شي (بیا پوښل).

زیانمنې شوې سیمې یوازې هغه وخت ترمیم کیدی شي که چیرې زیان ځایی وي. دا پدې مانا ده چې په دې سیمو کې پوښ به یوازې لرې شي او بیا زیرمه شي. دا به د برخې ژوند ته اجازه ورکړي چې وغځول شي که څه هم معمولا دا طریقه یوازې یو منځمهاله حل دی.

اضافي مواد په هغو ځایونو کې ځای پر ځای کیدی شي چې ډیر اغوستل کیږي (د بیلګې په توګه څنډې) ځکه چې د برخې دا ټکي د ناکامۍ لپاره خورا حساس دي. دا د برخې څنډې ته اجازه ورکوي چې پرته له دې چې په ټوله کې برخه ډیر پوښ کړي، تقویه شي.

په هرصورت، دا طریقه تل مناسبه نه ده. عموما دا مشوره ورکول کیږي چې سخت زیانمن شوي ګرافایټ د نویو برخو سره بدل کړئ که چیرې ګرافایټ ډیر زیانمن شوی وي، یا که چیرې په برخه کې د پوښ ډیری طبقې وي او له همدې امله مخکې څو ځله ترمیم شوی وي یا د سلیګ سره ککړ شوی وي. انجنیران باید د زیان لید اړخ دواړه په پام کې ونیسي او د دې بیاکتنې سره چې دا برخه څنګه دمخه کارول شوې وه.

د ډیلامینیټ شوي TaC کوټینګ سطحو څخه د ذراتو تولید کمول

کله چې د TaC پوښښونه ډیلامینیټ شي، د لویو فلیکسونو د تولید پرځای، کوچني ذرات خارجیږي. دا ذرات د چیمبر شاوخوا مهاجرت کولو لپاره آزاد دي او ممکن په ویفرونو کې ځای پرځای شي چې نیمګړتیا رامینځته کوي.

د ککړتیا څخه د مخنیوي لپاره یوه ښه تخنیک دا دی چې د پوښ زیان ژر تر ژره کشف شي. د معمول معایناتو په جریان کې، کارګران باید د پوښ د کوچنیو برخو د خړو پیچونو، کوچنیو درزونو، یا د پوښ د کوچنیو برخو د لږ پورته کولو په لټه کې وي.

کله چې ډیلیمینیشن لومړی پیل شي، د برخې بدلولو سره، د ذراتو تولید مخنیوی کیدی شي.

ورو حرارتي بدلون ستاسو د تړل شوي طبقې په اوږدو کې فشار ساتي او د تړلو د ټوټې کیدو او پوښ د ماتیدو مخه نیسي. ستاسو د پاکولو په سټیشن کې تاسو باید هڅه وکړئ چې د خپلو برخو د عمر سره سم د پاکولو پروسه تعدیل کړئ، ځکه چې سخت کیمیاوي مواد او پلازما لیدل شوي چې د سطحې موادو له منځه وړي چې د سطحې یو ناڅاپه ساحه رامینځته کوي چیرې چې ذرات په اسانۍ سره ماتیدلی شي، نو هڅه وکړئ چې ټولې برخې د تیریدونکي پاکولو ترتیباتو سره مه چلوئ.

د تطبیق په جریان کې تاسو اړتیا لرئ چې برخې په نرمۍ سره اداره کړئ ځکه چې د حلقې د لیږد پرمهال یا د فشار په وخت کې د سختې سطحې څخه یو کوچنی نل به د چپسونو په څنډو کې ماتیدو لامل شي او دوړې به شاته پریږدي. تاسو باید د ملاتړ سره اداره کړئ او په هیڅ قیمت کې څنډو ته لاس مه ورکوئ.

ځینې ​​ټیمونه د بهرنۍ طبقې د پیاوړتیا لپاره د کوټینګ وروسته د سطحې سپک درملنه هم پلي کوي. دا اصلي کوټینګ نه بدلوي، مګر دا کولی شي د مایکرو سوریو مهر کولو کې مرسته وکړي چې په بل ډول به د عملیاتو په جریان کې د ذراتو سرچینې شي.

په پای کې، د ذراتو کمول د یوې لویې حل په اړه لږ او د ثابت کنټرول په اړه ډیر دي. د تودوخې ثابت پروفایلونه، محتاط پاکول، او د ضعیف پوښونو ژر ځای په ځای کول ټول یوځای کار کوي. یوځل چې ډیلیمینیشن پیل شي، هدف نه یوازې د هغې مخه نیول دي، بلکه د هغو کوچنیو ټوټو مخه نیول هم دي چې د پروسې ځای ته ننوځي چیرې چې دوی کولی شي د ویفر هر چلولو اغیزه وکړي.