د SiC پوښل شوي برخې د اوږدې مودې لپاره د ویکو ایپیټیکسي ساتنه

په ویکو چپ جوړونکي کې، د سي وي ډي سيک کوټینګ پرزې په دوامداره توګه د هرې مرحلې په جریان کې د تودوخې، پلازما او ګاز جریان سره مخ کیږي. په تدریجي ډول دا فشار د وخت په تیریدو سره د پرزو سطحه بدلوي حتی که دوی لاهم په لید کې بې عیب وي. ډیری نباتاتو وموندله چې د پوښ په ظاهري بڼه کې کوچني بدلونونه، د دوړو ډکې خاورې، د تودوخې بدلون او د ماشین پاکولو زیاتوالي لامل کیږي. د تولید یوې کرښې وموندله چې یوازې د پرزو د مینځلو وخت بدلولو سره د کیریرونو د وخت دمخه اغوستلو مخه نیولې وه، او د اوږدې مودې لپاره د ډیر باثباته چلولو پایله یې درلوده. د سم پاملرنې عادتونو تمرین کولو سره، د سي وي ډي ټي سي او سي وي ډي سيک پوښل شوي برخې یو باوري او اوږدمهاله برخه ده چې د ماشین ثبات او د پایلو ثبات تضمینوي.

د ویکو ایپیک ایپیټیکسي تجهیزاتو لپاره د مخنیوي ساتنې لارښوونې

د ویکو ماشینونو لپاره د اوږدمهاله ژوند موده د لویو ترمیمونو پرځای په کوچنیو کارونو پورې اړه لري چې تاسو یې په منظم ډول ترسره کوئ. د کوټینګ ډیری ناکامۍ خورا ورو ورو پیښیږي او د خبرتیا نښو لیدلو وړتیا خورا لوی اغیزه لري. د یو ټاکلي شمیر منډو وروسته په منظم ډول د پرزو او لاینرونو پاکول او معاینه کول یو عادت دی چې د پرزو د ناکامۍ انتظار کولو په پرتله خورا ګټور دی.

د سطحې په احساس کې هر ډول لږ توپیر یا د رنګ بدلون د احتمالي ډیر کار شوي پوښ نښه کوي. یو تاسیسات د معمول برخې او لاینر چیک نه کولو له امله د تودوخې ستونزې تجربه کړې او بیا یې وکولی شول چې د تودوخې دا ستونزې په ساده ډول پاکولو او بیا سطحه کولو سره سمې کړي.

دا هم مهمه ده چې برخې څنګه پاکې شي. قوي کیمیاوي توکي یا د پاکولو اجنټان او ډیر سخت پاکول به ډیر ژر د پوښ د ناکامۍ لامل شي. نرم او ډیر دقیق پاکولو طریقې خورا مؤثره کار کوي په ځانګړي توګه په هغو برخو کې چې په لوړه تودوخه کې چلیږي. ځینې کارګران د نرم پاکولو اجنټانو څخه کار اخلي کله چې ماشین په ښه توګه د منلو وړ وي او د ژورې پاکولو پروسه تر هغه وخته پورې ځنډوي چې په بشپړه توګه اړین وي.

د ګاز جریان کیدای شي د ساتنې یوه بله هېره شوې کړنه وي او که څه هم دا ممکن مهمه نه ښکاري، د ګاز غیر متوازن جریان به د ګرمو ځایونو لامل شي چې د برخو څخه پوښ ​​اغوندي. د منډې وهلو دمخه او وروسته د سینسر چټک معاینه به د داسې ناکامیو مخه ونیسي. د یخولو مرحلې باید په هیڅ ډول ګړندۍ نشي. په ناسم ډول یخ شوی برخه به د برخې موادو او پوښ ترمنځ فشار رامینځته کړي. په ځانګړي ډول د سختو منډو په جریان کې د یخولو مرحلې ته د څو اضافي دقیقو لپاره اوږدول وموندل شول چې په یوه تاسیساتو کې په برخو کې د خورا کوچنیو درزونو مخه ونیسي.

د مشاهدو، پایلو او چلندونو ریکارډ ساتل هم د کوټینګ د خرابیدو له امله د یوې برخې د ناکامۍ اټکل کولو کې خورا ګټور دي. د معمول ساتنې ژمنې سره، ماشین د سختې ناکامۍ سره لږ مخ کیږي او پرزې یې اوږد ژوند لري.

د ویکو پرزې څنګه د حاصلاتو ثبات او د پروسې یووالي اغیزه کوي

لکه څنګه چې ستاسو تجهیزات زاړه کیږي، د پرزو ثبات په تدریجي ډول بدلیږي. د بار وړونکو حلقو، لاینرونو او ګاز پلیټونو په څیر توکي ممکن خورا اساسي ښکاري مګر د دوی حالت په مستقیم ډول د تودوخې توازن او ګاز جریان بدلولو مسؤلیت لري. د یوې پرزې په حالت کې لږ بدلونونه به د تودوخې خپریدو څرنګوالی بدل کړي.

موږ د ویفرونو د بهرنۍ څنډو څخه د حاصلاتو ورو ورو کمولو یوه بیلګه لیدلې ده چې په پیل کې د ترکیب ډرافټ ته منسوب شوې وه مګر وروسته د تودوخې نابرابرۍ په توګه تشخیص شوه چې د خراب تولید شوي فالتو پرزو له امله د پوښل شوي کیریر حلقو له امله رامینځته شوې. یوځل چې لوړ کیفیت لرونکي پرزې بیا معرفي شي، د تودوخې توازن بیرته راګرځیدلی او ټول محصولات بیرته ترلاسه شوي.

ورته دلیل د ګاز جریان برخو باندې هم پلي کیږي. د ګاز شاور هیډ په څیر ساده برخه کولی شي یو څه وخوځیږي یا په داسې ډول بند شي چې په ټوله چیمبر کې د ګاز جریان ګډوډ کړي او له همدې امله د ویفر کوټینګ ضخامت اغیزه وکړي. په یوه تاسیساتو کې دوی ولیدل چې د ویفر ضخامت په دوامداره توګه له کیڼ څخه ښي خوا ته بدلیږي، لامل یې وموندل شو چې د ګاز یو خراب شوی پلیټ و چې ډیر ساعتونه یې عملیات لیدلي وو.

په ټوله کې د ورته برخو کارول به د دې ډول بدلون مخنیوي کې مرسته وکړي. د هغو برخو کارول چې اصلي تجهیزات اصلي مشخصاتو سره سم وي پدې معنی دي چې تجهیزات به تل د هر ترمیم وروسته په ورته ډول فعالیت وکړي. د اضافي پرزو ذخیره کول او اداره کول هم مهم کیږي. پوښل شوې برخه چې د یو څه مودې لپاره په خلاص لابراتوار چاپیریال کې ناسته وي به دوړې جذب کړي.

په دې سیمه کې کوچني ذرات کولی شي په چټکۍ سره د لوړې تودوخې په پروسه کې نیمګړتیاو ته وده ورکړي. ډیری فابریکې اوس خپل ټول اضافي توکي په مهر شوي کانتینرونو کې ذخیره کوي، کوم چې یوازې د وسیلې کې د برخې نصبولو لپاره خلاص وي.

د پرزو مهالویش هم مهم دی - ډیر ناوخته چلول او دا د پایلو د نه کشف کیدونکي بدلون لامل کیږي، مګر ډیر ژر نصب کول او پیسې ضایع کیږي. د ساعتونو او چټکو چکونو پراساس غوره توازن ترلاسه کیدی شي.

د پاکولو طریقې چې د CVD SiC پوښل شوي اجزاو اغوستل کموي

د پاکولو لپاره د دې پوښل شویو برخو متوازن کول پدې پورې اړه لري. تاسو باید د پاتې کیدو څخه خلاص شئ پداسې حال کې چې خپل پوښ نرم او خوندي وساتئ. که چیرې پاکول ډیر سخت وي نو د برخې سطحه په چټکۍ سره له مینځه ځي، که چیرې دا ډیر نرم وي نو د پاتې شونو لپاره عادي خبره ده چې په ځورونکي حد کې راټول شي او ستاسو منډه ویجاړه کړي.

د پاتې کیمیاوي موادو طبقې به په تدریجي ډول ستاسو د برخې سطحه د وخت په تیریدو سره د ګرمو منډو په جریان کې د پاتې شونو د پتلي پرت په توګه پوښي. پداسې حال کې چې دا طبیعي پیښه ده، ستونزه هغه وخت رامینځته کیږي کله چې تاسو واقعیا د برخې څخه د پوښ لرې کول پیل کړئ.

د خوندي پاکولو پروسې لومړی پړاو وچ پاکول دي. د تودوخې او ګاز پاکول د نرمو پاتې شونو د راټولیدو نسبتا غیر کثافاتي لرې کولو ته اجازه ورکوي کوم چې د نرم راټولیدو لپاره ښه حل کیدی شي چې ممکن د لنډو منډو وروسته د سپکو راټولیدو سره شتون ولري.

د مایع پاکولو د هر ډول مواردو لپاره، یو نرم کیمیاوي ډوب د تیزابي حمامونو څخه غوره دی. ډیری ټیمونه د لږترلږه لندبل وختونو سره اوبه شوي کیمیاوي توکي کاروي. یو تاسیساتو راپور ورکړی چې د لندبل وختونو لنډول د برخې ژوند د میاشتو لپاره اوږدوي ځکه چې پوښ خپل چمک له لاسه نه ورکوي.

فزیکي چلند د پوښ ساتنې یوه بله مهمه برخه ده. د سکور کولو پیډونه، سخت برشونه، یا د لوړ فشار اوبو سپرې کولی شي په پوښ ​​باندې مایکروسکوپي سکریچونه معرفي کړي چې په پایله کې د پوښ دورې په جریان کې د دوړو سرچینې کیږي. په سمه توګه مینځل او وچولو دورې هم خورا مهم دي؛ د پاکولو اجنټانو پاتې شوني به ستاسو په پوښ ​​کې په لوړه تودوخه کې وخوري.

دا باید د پاکو اوبو سره مینځل او وروسته د وچولو مساوي پروسه ترسره شي. یوه لاره چې ځینې نباتات یې شاوخوا کار کوي د دوی د پاکولو پروسې د اغوستلو کچې پراساس جلا کول دي؛ سپک جوړښتونه به نرم پاکول وکاروي او شدید جوړښتونه به د تیریدونکي پاکولو څخه کار واخلي ترڅو د غیر ضروري پاکولو څخه مخنیوی وشي. په بشپړ ډول مناسب برخې.

د اصلاح شوي حرارتي مدیریت له لارې د سسپټر ژوند اوږدول

د دې سیسټمونو لپاره کیریرونه د پام وړ سخت کار کوي. دا وسایل په ګرمو سیمو کې موقعیت لري، ویفرونه ځړوي او هڅه کوي چې تودوخه په بشپړ ډول یو شان وساتي. د دې ډیری برخو لپاره ډیری اغوستل د تودوخې فشار له امله رامینځته کیږي، نه د سمبالولو یا پاکولو له امله. د تودوخې مستحکم شرایط د ژوند د ښه کولو لپاره لومړنی فاکتور دی.

چټک یا غیر متناسب حرارتي بدلونونه د سبسټریټ موادو او پوښ د غیر مساوي پراختیا لامل کیږي. دا د پام وړ داخلي فشارونو لامل کیږي. د تولید یوې اسانتیا د وخت څخه مخکې د څنډې درزونه ولیدل، ځکه چې د دوی د سهار د تودوخې درجه د کار بار له امله ډیره ګړندۍ وه، او په ساده ډول یې د دوی د تودوخې وخت کنټرول کړ.

د تودوخې د لوړولو/سړولو وختونو ورو کولو په برخه کې د تودوخې فشار لږ څه له منځه یوړ. دې کوچني بدلون د دوی په تولید باندې لږ اغیزه درلوده، پداسې حال کې چې د سطحو ژوند یې د پام وړ وغځاوه. حتی د تودوخې خپریدل هم رول لوبوي. که چیرې د کیریر ځانګړي برخې په دوامداره توګه ګرمې شي، نو دا برخې به په چټکۍ سره خراب شي او د لیدلو وړ سطحې اغوستلو دمخه به د ویفر پایلې خرابې کړي.

د تودوخې د پروفایل منظم سکینونه کولی شي د نا مساوي تودوخې ستونزې په اسانۍ سره وپیژني. دا تقریبا تل د کوچني غلط تنظیم، غیر یونیفورم ګاز جریان یا خراب شوي هیټرونو پایله ده. د یخولو وخت کنټرول په مساوي ډول مهم دی. د ګرمې دورې وروسته د برخو لرې کول به د لاندې موادو د پوښ د ایستلو لامل شي. د یخولو وخت ورو کول ډیر داخلي فشار له منځه وړي. ځینې تولیدي ټیمونه یوازې د لوړې کاري دورې په جریان کې د یخولو وخت غځولو توان لري.

د ډیری برخو لپاره د یخولو اضافي وخت لګښت لږ دی، مګر د دوی د ژوند موده کې د پام وړ زیاتوالی راولي. د کیریر او نورو برخو د ژوند اوږدولو لپاره بله ګټوره ستراتیژي دا ده چې هرکله چې امکان ولري د بشپړ بریښنا تودوخې بدلونونو څخه مخنیوی وشي. د بندیدو په جریان کې په معتدله تودوخه کې کار کول د دې پرځای چې سیسټم سمدلاسه د کوچني تمځایونو لپاره تودوخې ته بیرته راولي، به د تودوخې شاک خورا کم کړي.

د ذراتو د ککړتیا څخه مخکې د سطحې زیان پیژندل

نو، د سطحې زیان معمولا په خاموشۍ سره پیل کیږي، مخکې له دې چې دا د ماشین دننه د دوړو یوه بده ستونزه رامینځته کړي. ستونزه دا ده چې په پیل کې، اغوستل به ستاسو لپاره په بشپړ ډول بې ضرره ښکاري، مګر دا لاهم ستاسو د پروسې ثبات په خاموشۍ سره ګډوډوي. لومړۍ اشاره به د پالش (یا د سطحې روښانتیا) له لاسه ورکول وي.

یو ښه پوښ ​​به د رڼا لاندې نرم او ځلیدونکی ښکاري، مګر د پوښ پیل ممکن تیاره ښکاري یا په سطحه کې ځینې غیر منظم چمکۍ نقطې ولري. په لیکه کې یو کارګر د پاکولو وروسته په یوه برخه کې یو څه شیدې حلقه ولیده او تر دوه اونیو وروسته یې پروا ونه کړه، په هغه ځای کې د دوړو شمیر خورا زیات شو.

نا مساوي جوړښت یو بل نښه کیدی شي. پاتې شوې خاورې چې په یوه ټاکلې سیمه کې ډیرې راټولیږي یو بل اشاره ده، دا تاسو ته ښیي چې دا سیمه ناڅاپه شوې ده. دا پدې مانا ده چې جوړښت په اسانۍ سره نه غورځیږي، د یوې ښې او نرمې سطحې برعکس.

د تودوخې بدلونونه هم تاسو ته یو څه ویلای شي؛ د ویفر په اوږدو کې د یوشان تودوخې کې یو کوچنی بدلون ممکن پدې معنی وي چې سطح نور خپل رول په سمه توګه نه لوبوي، مخکې لدې چې تاسو واقعیا زیان وګورئ.

موږ نه غواړو چې برخو ته لاس ورکړو (ځکه چې دا به خامخا دوړې پیل کړي)، مګر تاسو کولی شئ په غیر مستقیم ډول دا ځانګړتیاوې وګورئ. د مثال په توګه، که چیرې ستاسو د معیاري پروسې لخوا د یوې ځانګړې برخې پاکولو لپاره د پام وړ اوږد شي، نو دا معمولا پدې معنی ده چې سطح بدل شوی او اوس نا مساوي دی.

د ماشین دننه د دوړو د شمېرنې څارنه یو له خورا باوري محافظتي اقداماتو څخه دی چې تاسو یې پلي کولی شئ، حتی کوچنی ورو زیاتوالی باید ونه زغمل شي. یوې ډلې په لومړي پړاو کې د لاینر ناکامي وموندله ځکه چې د مات شوي ماشین د لوړ الارم انتظار کولو پرځای په څو منډو کې د ډیر ورو پورته رجحان لیدل کیده.

د پرزو ذخیره کول او سمبالول یو مهم فکتور دی ځکه چې د سختو موادو په سطحه یو کوچنی سکریچ کولی شي په ګرم چلولو کې د دوړو لوی سرچینه شي. له همدې امله تاسو ډیری ماشینونه ګورئ چې د پرزو ذخیره کولو لپاره ځانګړي نرم ټرې لري.